铁电材料及其在存储器领域的应用.pdfVIP

目 录 2 铁电材料及其在存储器领域的应用 摘 要： 铁电材料的优秀电学性能孕育了它广阔的应用前景，其 电子元件有着集成度高、能耗小、响应速度快等众多优点。而且目前 研究者将铁电材料同其它技术相结合，使新诞生的集成铁电材料性能 更为优秀。介绍了铁电材料的发展历史和当前的应用概况。 关键词 ：铁电材料；铁电性；存储器；应用 Application of ferroelectric materials and in the area of memory Abstract ： Ferroelectric materials, one of the current research focuses with numbers of physical advantages such as high integration, low energy consumption and fast response, has broad application prospects in many aspects ． Being combined with other physical technologies,the properties of ferroelectric materials can be significantly improved．Describes the historical development of ferroelectric materials and current applications． Keywords ： ferroelectric materials ；Iron electrical ；memorizer ； development 1 前言 铁电材料，是指具有铁电效应的一类材料，最早的铁电效应是在 1920 年由法国人 Valasek 在罗谢尔盐中发现的，这一发现揭开了研究 铁电材料的序幕。在 1935 年 Busch 发现了磷酸二氢钾 KH2PO4—— 1 简称 KDP ，其相对介 电常数高达 30，远远高于当时的其它材料。1940 年之后，以 BaTiO3 为代表的具有钙钛矿结构的铁电材料陆续被发现， 这是铁电历史上里程碑式的时期。直至 20 世纪 80 年代，随 铁电唯 象理论和软膜理论的逐渐完善，铁电晶体物理内涵的研究趋于稳定。 20 世纪 80 年代中期，薄膜制备技术的突破为制备高质量的铁电薄膜 扫清了障碍，并且近年来随 对器件微型化、功能集成化、可靠性等 要求的不断提高，传统的铁电块体由于尺寸限制已经不能满足微电子 器件的要求。铁电器件在向薄膜尺寸量级过渡的同时又与半导体工艺 结合，研究者们迎来了集成铁电体的时代。集成铁电体是凝聚态物理 和固体 电子学领域的热门课题之一。铁电材料有着丰富的物理内涵， 除了具备铁电性之外，还具有压电性、介 电性、热释电性、光 电效应、 声光效应、光折变效应以及非线性光学效应等众多性能，可用于制备 电容器件、压力传感器、铁电存储器、波导管、光学存储器等一系列 电 子元件，铁电材料因其广阔的应用前景而备受关注。目前的铁电器件 往往仅单独用到了铁电材料中的单一性能，如压电性或者热释电性。 将铁电材料中的性能综合在一起或者将铁电技术同半导体等其它技 术结合在一起的集成铁电材料有着更为强大的功能。铁电材料的研究 进展主要包括：①提高现有材料的单一性能，如压电材料中准同型相 界以及合适的晶格取向会大幅度提高压电系数。②开发新型铁电材 料，如存储能量的 电介质和有机铁电材料。③将铁电性同其他性能结 2 合，包括可以实现磁 电互控的具备多种初级铁性的多铁材料，以及可 以通过铁电极化调控材料内