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密封试验作业指导书范文 1 目的 本试验的目的在于确定具有内空腔的 MEMS 器件封装的气密性。 2 设备 适用于不同试验条件的密封试验所需设备应按相关条款的规定。 2.1试验条件A-示踪气体氦（He）细检漏 按本条件进行试验所需设备包括合适的压力 室、真空室和一台质谱检漏仪。该质谱检漏仪应 经过适当的预置和校准，使其灵敏度达到足以读出小于等于 10-4Pa- cm3/s的氦漏率。 用于测量漏率 的工作室体积应根据实际情况尽量保持最小，因为该体积过大对灵敏度 极限值会产生不利的影响。 应该在每个工作班次期间，至少用经校准的扩散型标准漏 孔校准一次检漏仪的指示器。 2.3 试验条件 B- 碳氟化