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1.5uA 5kHz兼具低功耗与高频响于一身的 TMR开关传感器 江苏多维科技 公司简介 多维科技成立于2010年 ，项目总投资5亿元 ，注册资金3.73亿元。多维科技是国际领先的薄膜型磁 传感器量产供应商 ，高新技术企业 ，拥有300+项TMR磁传感器的发明和应用专利 ，拥有世界领先 的磁阻传感器量产晶圆产线 ，2012年始陆续成功量产多款磁传感器产品。 专利 团队 产品 产线 每年新增专利数量 企业总人数 芯片+模组 生产线年产能 30+ 180+ 200+ 30亿 生产线 为客户提供完整的磁传感器(AMR/GMR/TMR)开发及晶圆制造服务 超高真空磁控溅射镀膜机 超高磁场真空回火炉 磁特性测试仪 可靠性测试系统 超高真空磁控溅射镀膜机 超高磁场真空回火炉 磁特性测试仪 可靠性测试系统 • 国际领先、国内唯一的高尖端设备 • 国际领先、国内唯一的高尖端设备 • 主要用于300毫米晶圆芯片的巨 • 按照传感器行业标准建立涵盖了 磁电阻、磁电、铁氧体磁技术、 全方位的环境可靠性和加速寿命 • 能进行6寸和8寸晶圆制备 • 同时生产25片6寸和8寸晶圆 磁存储和具有霍尔效应芯片的可 老化测试评估体系 • 最薄厚度能至埃米(10-10m)级别 • 超导磁场可以达到5特斯拉 靠性测试。 • 该体系包括环境测试(回流焊， • 10个腔体实现多靶溅射 • 退火温度最高可达500℃ 冷热冲击，高压蒸煮，高温存储) • 多达100层金属薄膜 • 生产过程中工艺实时监控，全自动 和寿命老化测试 化控制 • 拥有700℃以上的温度能力 • 高精度角度控制 专利情况 至2019年11月20 ，已累计申请专利共264项 ，其中发明118项 ，实用新型146项；已授权专利共192项 ，其中已授权发明 78项 ，实用新型112项；进入PCT国家阶段299项 ，获授权176项。 国内专利 PCT国际阶段 PCT国家阶段 申请 授权 申请 授权 300 100