GB/T 39144-2020氮化镓材料中镁含量的测定　二次离子质谱法.pdf

ICS77.040 H 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT39144 2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法 — Testmethodformanesiumcontentin alliumnitridematerials g g Secondarionmasssectrometr y p y 2020-10-11发布 2021-09-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT39144 2020 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 本标准起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 北京聚睿众邦科技有限公司 东莞市中 、 、 。 镓半导体科技有限公司 有色金属技术经济研究院 厦门市科力电子有限公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 马农农 何友琴 陈潇 刘立娜 何烜坤 杨素心 闫方亮 杨丽霞 颜建锋 倪青青。 Ⅰ / — GBT39144 2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法 1 范围 本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。 14 -3