rts-8型四探针测试仪用户手册.docxVIP

目录 TOC \o 1-5 \h \z 概述 1 \o Current Document 技术指标 1 测量原理简介 2 \o Current Document 仪器面板说明 4 \o Current Document 使用方法 6 关于低阻测量 8 关于高阻测量 8 \o Current Document 8?附录A:脱机测量样品基本操作流程 9 附表B：直径修正系数F(D/S)与D/S值的关系....10 附表C:厚度修正系数F(W/S)与W/S值的关系.…11 附录D: S-2A探针台探头更换指导 12 感谢您使用我们的产品！ 如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用 如有问题，欢迎致电: 020登陆 : http// 1.概 RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物 理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻 层电阻）的专用仪器。 仪器由主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由四探针测试仪主机直 接显示，亦可与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把 采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录