圆度误差的纳米测量技术(精).doc

圆度 误差的纳米测量技术 中国物资储运郑州公司计量中心 械科学研究院 张敬彩 红  胡谦 摇机械工业部机 摇佛山职业技术学院 王 摇西北工业大学 曹麟祥 一、引言 随着科学技术的发展，纳米测量技术在尖端产品和现代化武 图 a 转台式圆度仪 图 b转轴式圆度仪 被测零件； 2. 电感测微仪； 3. 被测零件； 4. 电感测微仪； 5. 记录器； 记录器。 本文提出的 “两步法 ”误差分离技术仅用一个传感和零件的一 次转位，便能分离开主轴的系统误差和零件的 圆度误差。 “两步 法”与“三传感器法 ”相比，能节省两个传感器，并能避免多个传 感器性能不一致而带来的误差； 与“多步法 ”相比，它不需