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半导体材料与集成电路基础
第三讲：单晶硅生长及硅片制备技术
内容
• 多晶硅原料制备技术
• 石英坩埚的制备技术
• 硅单晶生长方法
• 单晶硅生长过程的技术要点
硅晶片的生长技术
•单晶硅基片(Silicon Wafer)，之所以在诸多半导体元素如
锗(Germanium)或化合物半导体如砷化稼(GaAs)等材料中
脱颖而出，成为超大规模集成电路(VLSI)元器件的基片材
料，其原因在于，首先，硅是地球表面存量丰富的元素
之一，而其本身的无毒性以及具有较宽的带宽
（Bandgap)是它在微电
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