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X — 射线光电子能谱 ( X-ray Photoelectron Spectroscopy ) XPS 的发展 ? 基本概念 ? XPS 的工作流程及原理 ? 利用 XPS 谱图鉴别物质 ? XPS 的实验方法 ? XPS 谱图的解释步骤 ? XPS 的特点 主要内容： XPS 的发展： ? XPS 理论首先是由瑞典皇家科学院院士、乌普萨 拉大学物理研究所所长 K· Siebahn 教授创立的。 原名为化学分析电子能谱 : ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) 。 ? 1954 年研制成世界上第一台双聚焦磁场式光电子 能谱仪。 ? XPS 是一种 对 固体表面 进行定性、定量分析和结 构鉴定的实用性很强的表面分析方法 。 基本概念： ? 光电子能谱 : 反应了原子（或离子）在入射粒 子（一般为 X-ray ）作用下发射出来的电子的能 量、强度、角分布等信息。 ? X-ray: 原子外层电子从 L 层跃迁到 K 层产生的 射线。 常见的 X 射线激发源有： Mg :Ka 1,2 (1254ev, 线宽 0.7ev ) Al :Ka 1,2 (1487ev , 线宽 0.9ev ) Cu :Ka 1,2 (8048ev, 线宽 2.5ev ) Ti :Ka 1,2 (4511ev