DB31∕ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额(上海市).pdfVIP

ICS 27.010 CCS F 01 日H王1 ;佳 方 标 市 士也 海 上 DB31 / 506~2020 代替 DB31/ 506-2010 集成电路晶圆制造单位产品 能源消耗限额 The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits 2020-09-25 发布 2020-12-01 实施 扣 t h 咱 ­ J ， 《 V ， ‘ ， 、F J ， 、 扩 ， 、 ， 、J v d 片 、 A 何 、 川 吨 ， - d l 上海市市场监督管理局 发布 俨 民 ‘ 1 、 i 喃 ， ， 〈 b r 、 DB31/ 506-2020 目。 本文件 4.1 、 4.2 为强制性的，其余为推荐性的。 本文件按照 GB/T 1. 1-2020((标准化工作导则 第 1 部分z 标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替 DB31/ 506-2010((集成电路晶圆制造能耗限额》。本文件与 DB31/ 506-2010 相比， 除编辑性修改外主要技术变化如下z a) 修改了计算方法(见第 5 章，2010 年版的第 4 章) ; b) 修改了集成电路晶圆制造能耗限额，改为技术要求(见第 4 章， 2010 年版的第 5 章、第 6 章〉。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由上海市发展和改革委员会、上海市经济和信息化委员会共同提出，由上海市经济和信息化 委员会组织实施。 本文件由上海市能源标准化技术委员会归口。 本文件起草单位z 上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、 中芯国际集成电路制造(上海〉有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国〉有限公司、上海先进 半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司。 本文件主要起草人z 陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘瑾、理静、陈勇、 陈继红。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为z 一一-DB31/506-2010. I