扫描电镜的结构原理.ppt

第三章 扫描电镜的结构原理 ξ1 扫描电镜的成像原理 3 扫描原理 探测系统 （一）透镜实习思考题 1如何找灯丝饱和点？ 2聚光镜有无像散，如何消？ 3观察聚光镜正焦，欠焦，过焦三种状态 4观察插入不同聚光镜光阑对观察的影响 5观察物镜光阑与图像反差的关系 6图像有无像散，如何消？ 7判断是否聚焦的标准？ 8如何做低倍，高倍观察？ 9染色与非染色标本的图像反差 10不同制备来源的标本观察 * 二次电子； 特征X射线； 背散射电子 1电子束和样品的作用—信息携带者 α l 原子序数差异 表面形貌 A C B 若： αC > αB> αA 则: lC > lB> lA 则: 2eC > 2eB>2eA 2e能量较低(<50ev) 厚度：只能从表面几十埃的薄层发出（<100埃） 面积：只从约等于电子束斑照射的面积发出（几十埃） 2 反差的形成 分辨率~探针尺寸 a e b f d c 二次电子产率： a<b<d<e or f(边缘效应), e or f无法区分 a<b<d<c(尖端效应) 小鼠肾小球的二次电子像 S N e F S N S N S N e F I(行) t(时间) T(行) I(帧) t(时间) T(帧) 扫描范围： 行——I（行） 帧——I（帧） 扫描速度： 行——T（行） 帧——T（帧） 扫描线数= T（帧）/ T（行） ξ2 扫描电镜的结构和工作原理 电子枪：基本同透镜 但工作电压较低10~20KV,<50KV）？ 逐级缩小50微米~几十埃 ？ 孔径角： 球差（分辨率） 景深 电子束弱 束班尺寸大，（分辨率） +250kv +12kv 聚焦极 闪烁体 光 光电倍增管 电流 放大 电压 2e 正栅压 （强度正对应） 扫描发生器： *同步扫描（位置完全对应） *放大（衰减） 显像管 观察（荧光屏）： 快扫描：？ 电子束在每点的驻留时间短，信噪比较低清晰度较差 所需扫描线数= T（帧）/ T（行）=荧光屏高度/人眼分辨率 =100mm/0.1mm=1000线 纪录（底片）： 慢扫描：？ 所需扫描线数= T（帧）/ T（行）=荧光屏高度/底片分辨率 =100mm/0.05mm=2000线 *