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微米间距非牛顿引力实验检验 如何统一描述自然界四种基本相互作用 ( 引力、电磁力、强相互作用和弱相互作用 ) 是近几十年物理学界的一大热点 , 也是众多物理学家的梦想。目前大多数的统一理论都预言了引力在毫米或更近作用间距下会偏离牛顿反平方定律 , 或存在非牛顿引力。 因而 , 对牛顿万有引力定律进行高精度的实验检验 , 寻找非牛顿引力 , 可以检验各种统一理论的理论预言 , 为统一场论的进一步发展提供实验依据。本论文主要工作为在微米间距检验非牛顿引力的研究。 实验采用悬臂梁作为弱力传感器 , 通过测量金球和密度调制结构的吸引质量间水平力的变化来检验非牛顿引力是否存在。 选择将悬臂梁垂直于吸引质量表面放 , 使其对垂直方向受力不灵敏 , 降低 Casimir 力和静电力的贡献。 采用氢氧焰熔融高纯金丝的方法制备了金球 , 并将其粘到氮化硅悬臂梁上制作成检验质量探针 , 该探针在信号频率处的噪声本底为 5.7 fN/(?)HZ 。基于 SOI 硅片 , 采用微加工法制作了密度调制吸引质量 , 其表面与密度调制周期一致的起伏控制在约 3nm。此外 , 考虑到吸引 质量表面存在随机电荷分布以及表面粗糙度的影响 , 发展了二维信号 测量方法 , 测量得到 8 倍频信号的二维分布图。研究了 8 倍频信号分 布与密度调制结构的关系 , 通过增加吸引质量表面镀层的厚度和退火 处理 , 降低了信号