特种气标准体系统综合项目工程设计标准规范.doc

特种气体系统工程技术规范 -04-07 08:31:54|??分类：? \o "默认分类" 默认分类?|??标签： 气体?? 特种?? 管道?? 气瓶?? 阀门??|字号?订阅 1　总??? 则 ?1.0.1 ?为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确落实国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术优异，经济合理。制订本规范。1.0.2 ?本规范适适用于新建、扩建和改建电子工厂特种气体输送系统工程设计和施工。1.0.3 ?本规范不适用特种气体制取、提纯、灌装系统设计和施工。1.0.4 ?特种气体系统设计和施工除应符合本规范要求外，应符合国家现行相关标准要求。 2　术??? 语 ?2.0.1 ?特种气体??? specialily gas 用于多种电子产品生产薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用气体。通常包含可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 ?特种气体系统??? speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场特种气体储存、输送和分配全过程设备、管道和部件总称。 2.0.3 ?特种气体间 ???speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并经过管道向用气设备输送特种气体房间。 2.0.4 ?硅烷站 ???silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并经过管道向用气生产厂房供给硅烷气体独立建构筑物或区域。 2.0.5 ?明火地点 ???open flame site 室内外有外露火焰或赤热表面固定地点。 2.0.6 ?散发怒花地点 ???sparking site ??? 散发怒花烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 ?空瓶 ???empty cylinder 留有残余压力气体钢瓶。2.0.8 ?实瓶 ???full cylinder 存有气体气瓶中保留有气体压力气瓶，特种气体气瓶通常水容积为40L、47、48L等多种容积。 2.0.9 ?气瓶集装格?? ?the bundle of gas cylinders 用专用金属框架固定，采取集气管将多只气体钢瓶接口并联组合气体钢瓶组单元。气瓶个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶水容积通常为40~50L。 2.0.10 ?气瓶柜 ???gas cabinet (GC) 特种气体使用封闭式气瓶放置和管理设备，通常应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必需设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。 2.0.11 ?气瓶架 ???gas rack (GR) 特种气体使用开放式气瓶放置和管理设备，通常应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。 2.0.12 ?阀门箱 ???valve manifold box (VMB) 特种气体在输送过程中使用封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可依据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。 2.0.13 ?阀门盘 ???valve manifold panel (VMP) 特种气体在输送过程中使用开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP各支管可依据需要设置调压阀。 2.0.14 ?低蒸汽压力气体 ???low vapor pressure gas 在室温下饱和蒸气压小于0.2MPa气体。 2.0.15 ?尾气处理装置 ???local scrubber 用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体排气和吹扫气体装置，处理后尾气达成要求排放浓度，并排入用气车间排气管道。 2.0.16 ?气体探测系统 ???gas detector system(GDS) 设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备和管道所覆盖区域，经过检测本质气体或关联气体在空气中含量来判定本质气体泄漏，从而发出声光报警信号、提供给急处理数据系统。 2.0.17 ?气体管理系统 ???gas management system(GMS) 包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送和处理系统气体管理和控制系统统称。 2.0.18 ?最高许可浓度