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2021-03-09 发布于天津
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精密测量技术一背景研究随着社会的发展普通机械加工的加工误差从过去的级向级发展精密加工则从级向炉级发展超精密加工正在向级工艺发展由此制造业对精密测量仪器的需求越来越广泛同时误差要求也越来越高精密测量是精密加工中的重要组成部分精密加工的误差要依靠测量准确度来保证目前对于测量误差已经由仃级向级提升而且这种趋势一年比一年迅猛二概述现代精密测量技术是一门集光学电子传感器图像制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科它和精密超精密加工技术相辅相成为精密超精密加工提供了评价和检测手段精密超精密加工水平的提高又为精

精密测量技术一、背景研究随着社会的发展，普通机械加工的加工误差从过去的 m级向“m级发展，精密加工则从10 p,m级向炉级发展，超精密加工正在向nm级工艺发展。由此，制造业对精密测量仪器的需求越来越广泛，同时误差要求也越来越高。精密测量是精密加工中的重要组成部分，精密加工的误差要依靠测量准确度来保证。目前，对于测量误差已经由“仃级向nm级提升，而且这种趋势一年比一年迅猛 ⑴。二、概述现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，它和精密超精密加工技术相辅相成，为精密超精密加工提供了评价和检测手段；精密超精密加工水平的