JJF (沪苏浙皖) 4001-2020 微纳米线间隔标准样板校准规范（高清-可复制）.pdfVIP

附件1 JJF (沪苏浙皖) 沪苏浙皖地方计量校准规范规程 JJF （沪）4001 －2020 微纳米线间隔标准样板校准规范 Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards 2020－X－X 发布 2020－X－X 实施 上海市市场监督管理局 江苏省市场监督管理局发布 浙江省市场监督管理局 安徽省市场监督管理局 JJF (沪苏浙皖）4001-2020 微纳米线间隔标准样板 校准规范 JJF （沪苏浙皖）4001 －2020 Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards 归口单位：上海市市场监督管理局 江苏省市场监督管理局 浙江省市场监督管理局 安徽省市场监督管理局 主要起草单位：上海市计量测试技术研究院 同济大学 参加起草单位：中国计量科学研究院 本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释 JJF (沪苏浙皖）4001-2020 本规范主要起草人： 傅云霞（上海市计量测试技术研究院） 程鑫彬（同济大学） 雷李华（上海市计量测试技术研究院） 参加起草人： 高思田（中国计量科学研究院） 魏佳斯（上海市计量测试技术研究院） JJF (沪苏浙皖）4001-2020 目录 引言………………………………………………………………………………（II ） 1 范围……………………………………………………………………………（1） 2 引用文献………………………………………………………………………（1） 3 术语……………………………………………………………………………（1） 4 概述……………………………………………………………………………（1） 5 计量特性………………………………………………………………………（2） 5.1 平均线间隔…………………………………………………………………（2） 5.2 二维线间隔的正交性………………………………………………………（3） 5.3 线间隔均匀性………………………………………………………………（3） 6 校准条件………………………………………………………………………（3） 6.1 环境条件……………………………………………………………………（3） 6.2 测量标准及其他设备………………………………………………………（3） 7 校准项目和校准方法…………………………………………………………（3） 7.1 平均线间隔…………………………………………………………………（3） 7.2 二维栅格线的正交角度……………………………………………………（4） 7.3 线间隔均匀性………………………………………………………………（5） 8 校准结果的表达………………………………………………………………（6） 9 复校时间间隔…………………………………………………………………（6） 附录A 校准证书内容……………………………………………………………（7） 附录B 校准证书（内页）格式……………………………………………………（8） 附录C微纳米线间隔标准样板校准结果的测量不确定度评定……………… （9） 附录D微纳米线间隔标准样板扫描角度的确定方法…………………………（13） JJF