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智能传感器 智能传感器的设计与实现途径 四、 目前,传感器技术的发展是沿着非集成化设计、集成化设计和混合设计三条途径来实现智能传感器的。 智能传感器 非集成化设计 1. (1)经典传感器系统。非集成化智能传感器首先将传统的经典传感器(采用非集成化工艺制作的传感器,仅具有获取信号的功能)及信号调理电路、数据采集模块、带数字总线接口的微处理器组合为整体而构成的一个智能传感器系统,如图9-3所示。 图9-3 非集成化智能传感器系统框图 智能传感器 图中的信号调理电路用来调理传感器输出信号,即将传感器输出信号进行放大,并转换为数字信号后送入微处理器,再由微处理器通过数字总线接口接在现场数字总线上,这是一种实现智能传感器系统的最快途径与方式。 智能传感器 例如,美国罗斯蒙特公司生产的电容式智能压力(差)变送器系列产品(见图9-4),就是在原有传统式非集成电容式变送器的基础上附加一块带数字总线接口的微处理器插板后组装而成的,它配备了可进行通信、控制、自校正、自补偿、自诊断等功能的智能化软件,从而实现智能化。 图9-4 罗斯蒙特公司生产的 智能传感器 这种非集成化智能传感器是在现场总线控制系统发展的推动下迅速发展起来的。对于自动化仪表生产厂家来说,原有的一整套生产工艺设备基本不变。因此,对于这些厂家而言,非集成化实现是一种建立智能传感器系统的最经济、最快捷的途径与方式。 智能传感器 (2)模糊传感器系统。近些年来,发展极为迅速的模糊传感器也是一种非集成化的新型智能传感器。模糊传感器是在经典数值测量的基础上,经过模糊推理和知识集成,以模拟人类自然语言符号描述的形式输出测量结果的传感器。显然,模糊传感器的核心部分的功能就是模拟人类自然语言符号的产生及其处理。 模糊传感器的“智能”之处在于它可以模拟人类感知的全过程。它不仅具有智能传感器的一般优点和功能,而且具有学习推理的能力,具有适应测量环境变化的能力,并且能够根据测量任务的要求进行学习推理。另外,模糊传感器还具有与上级系统交换信息、自我管理和调节的能力。通俗地说,模糊传感器的作用应当与一个具有丰富经验的测量工人的作用是等同的,甚至更好。 智能传感器 图9-5所示为模糊传感器的简单结构和功能示意图。其中,经典数值测量单元不仅提取传感信号,而且对其进行数值预处理,如滤波、恢复信号等。 图9-5 模糊传感器的简单结构和功能示意图 智能传感器 符号产生单元和符号处理单元是模糊传感器的核心部分,它们利用已有的知识或经验,对已恢复的传感信号进一步处理,得到符号测量结果。其中的符号处理采用模糊信息处理技术,对模糊后得到的符号形式的传感信号,结合知识库内的知识(主要有模糊判断规则、传感信号特征、传感器特征及测量任务要求等信息),经过模糊推理和运算,得到被测量的符号描述结果及其相关知识。当然,模糊传感器可以通过学习新的变化情况(如任务发生改变、环境变化等)来修正和更新知识库内的信息。 智能传感器 智能传感器 集成化设计 2. 集成化智能传感器系统是采用微加工技术和大规模集成电路工艺技术,利用硅作为基本材料来制作敏感元件、信号调理电路和微处理器单元,并把它们集成在一块芯片上而构成的,故又可称为集成智能传感器,其外形如图9-6所示。 图9-6 集成智能传感器外形示意图 智能传感器 随着微电子技术的飞速发展,微米/纳米技术的问世,大规模集成电路工艺技术的日臻完善,集成电路器件的密集度越来越高。它已成功地使各种数字电路芯片、模拟电路芯片、微处理器芯片、存储器电路芯片的性价比大幅度提升,促进了微加工技术的发展,形成了与传统的经典传感器制作工艺完全不同的现代传感器技术。 智能传感器 现代传感器技术是指以硅材料为基础(因为硅既有优良的电性能,又有极好的力学性能),采用微米级的微加工技术和大规模集成电路工艺来实现各种仪表传感器系统的微米级尺寸化技术,国外也称为专用集成微型传感器技术。由此制作的智能传感器的特点如下: 智能传感器 (1)微型化。微型压力传感器已经可以小到放在注射针头内送进血管测量血液流动情况,装在飞机或发动机叶片表面用以测量气体的流速和压力。美国研制成功的微型加速度计可以使火箭或飞船的制导系统质量从几千克下降至几克。 (2)结构一体化。压阻式压力(差)传感器最早实现一体化结构。传统做法是先分别机械加工金属圆膜片与圆柱状环,然后把二者粘贴在一起形成周边固定结构的“金属杯”,再在圆膜片上粘贴电阻变换器(应变片)而构成压力(差)传感器,这就不可避免地存在蠕动、迟滞、非线性特性。 智能传感器 (3)高精度。比起分体结构,传感器结构一体化后,迟滞、重复性指标将大大改善,漂移时间大大减少,精度提高。后续的信号调理电路与敏感元件一体化后可以大大减小由引线长度带来的寄生参量的影响,这对电容式传感器
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