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无尘室污染控制的基础知识 无尘 室是产品在生产过程中环境被控制的房间 ,在无尘室中 空气的尘粒被集中控制在一定标准范围内 ,并消除微米级的 空气污染。这些尘粒通常由人体产生 ,加工过程中产生 ,设 备装置产生 ,必须不断从空气中除去它们。尘粒除去需要达 到什么水平需依靠标准要求 ,美国联邦标准 209E 现在被广 泛应用 ,该标准规定了空气洁净度的等级 ,洁净室或洁净区 域空气粒子数量的多少 ,科学严谨的标准有利用防止产品污染。 控制污染唯一的方法是控制整个环境 ,包括室内之温湿度、 洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明 等需要控制 ,尘粒来源需要控制或消 除。只要可能 ,清洁室 内的工作要多于清洁过滤器 ,无尘室的设计和制造使用时需 要科学的设计方案和方法 ,在电子学 ,药学 ,生物制药 ,医 学医疗仪器工业和其它的关键制造业的环境生产中已被证 实 . 在比较无尘室和一栋典型的办公大楼的不同时只需抓住一 个核心 “空气粒子数监控 ”,典型办公大楼空气每立方英尺 包含 500,000---1,000,000个 粒子 (直径 0.5 微米以上 ; 100 级无尘室设计空气粒子允许数不超过每立方英尺 100 个 粒子 (直径 0.5 微米以上 ; 1000 和 10,000无尘室分别被 设计限制粒子为 1000 和 10,000 每立方英尺。 一根人类的头发直径约为 75-100 个微米 ,小于头发 200 倍 的粒子 (0.5 微米在无尘室却能引起重要的灾难 . ,污染能 导致昂贵的停工时间而且增加制造成本 ,事实上 , 十亿美元 的美国航空暨太空总署哈柏太空望远被损坏就是因为小于 0.5 微米的粒子污染造成。 无尘室一经建造 , 在维护和清洁上 也必须有同样高的标准 . 本手册专门准备给专业清洁人士 提供无尘室如何清洁的基础知识。 污染是什么 ? 污染是物件表面被污染物质污染的过程或行为 ,有两种广 义范畴的表面污染 : 膜状类型和微粒子 , 这些污染物能在小 型电路上产生 凶手缺点 , 只有 10nm(奈米 的膜装污染 物能大幅减少晶圆或芯片涂料的附着 . 一般广泛可接受的 污染物的大小是 0.5 微米的粒子 , 现在一些微电子工业控制 目标是更小的粒子。 部分污染物明细可参见下面污染的来源 , 任何这些尘粒可 能是损害一个线路的来源 , 我们的目标是阻止这些污染物 进入无尘环境 , 它需要每个进入无尘室的人员承诺避免发 生,专业清洁人员需知道污染控制的重要性 , 无论谁进入无 尘室或在无尘室清洁时都需要严格执行这样要求 ,不可接受 任何妥协。 污染的来源 多数污染物已经证实主要有以下将要提到的五个基本来源 , 设备、人、工具、液体和制造的产品都可能产生污染 ,重新 回顾这些因素将有助于我们更好理解污染的产生根源。 1、设备 墙壁 ,地板和天花板 油漆和涂料 建筑材料 (粉尘颗粒 , 可见灰尘 空气调节装置残片 房间空气和水蒸气 溢出物和泄漏物 2、人员产生 皮肤产生的皮屑和油脂 化妆品和香水 唾沫 衣服碎片 (棉绒、 纤维等 头发 3、工具产生 摩擦产生物和包装产生尘粒 润滑物和喷射物 机械震动 扫帚 ,拖把和除尘器 4、流体物 空气漂浮物 细菌 , 有机物和水蒸气 地板抛光剂和涂料 化学清洁药品 增塑剂 除离子水 产品产生 硅片 石英碎片 无尘室材料产生碎片 铝制品产生残存物 污染控制的关键要素 综合考虑多方面因素 ,有利于整个污染控制计划做得更好 , 当我们提供一份高效污染控制项目时 ,有以下项目需要考虑 到。 HEPA (高效空气过滤器 HEPA 在污染控制的维护上是非常重要的 ,对于直径大于 0.3um 的尘粒的过滤 效率可以达到 99.97% 无尘室气流装置设计 无尘室设计成让气流以一个方向流动 (或是垂直的或是水平 的 ,并以一般是 0.3 米 /秒 /至 0.5 米 /秒的均速流过整个 空间 ,这种称为单向流洁净室 ,气流有越多的障碍就会产生 更多的紊流 ,紊流能产生尘粒的移动。 过滤器 除了 HEPA 过滤器广泛地用于无尘室外 ,还有很多其它类型 的过滤器用于从气体和液体中除去尘粒 ,这些过滤器都是提 供高效率污染控制的基础。 清洁 在污染控制中清洁是最基本的要素之一 ,必须下决心制定详 细的洁净室维护和清洁计划 ,无尘室清洁及操作程序须文件 化 ,且无尘室管理条例也需与合作的供应商达成统一 ,在进 行无尘室清洁项目之前有很多问题需要清洁管理人员事先 考虑。 清洁什么 ? 清洁的标准是怎样的 ? 在无尘室中需要用到什么样的清洁物料 ? 什么时候清洁无尘室 ? 无尘室的清洁频繁 ? 无尘室工衣 在无尘室中不同位置间移动也需要无尘工衣穿着发生变化 , 知道无尘室管理的工衣需求是非