20210318-广发证券-半导体设备行业系列研究十七:真空泵,光伏为矛、半导体为盾,国产化大幕已开启.pdfVIP

20210318-广发证券-半导体设备行业系列研究十七:真空泵,光伏为矛、半导体为盾,国产化大幕已开启.pdf

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[Table_Page] 行业专题研究|机械设备 2021 年3 月18 日 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备行业系列研究十七 真空泵:光伏为矛、半导体为盾,国产化大幕已开启 [Tabl 分析师: 周静 分析师: 代川 e_Author] SAC 执证号:S0260519090001 SAC 执证号:S0260517080007 SFC CE.no: BOS186 021 021 zhoujing@ daichuan@ 请注意,周静并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人,不可在香港从事受监管活动。 [Table_Summary] 核心观点:  真空泵是制造业重要的通用设备,半导体应用占据最大份额,光伏高增长。真空系统是用来获得真空环境的系 9 6 8 7 8 4 1 9 4 1 - 统,是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统,应用广泛。真空泵是真空系统重要的组成部分,是 用来产生、改善和维持真空环境的装置。根据ISVT,2019 年全球真空设备的市场规模约350 亿元,其中半导 体用真空设备约

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