太和气体(荆州)有限公司年产3685吨半导体特种气体项目 环境影响报告书.pdfVIP

太和气体(荆州)有限公司年产3685吨半导体特种气体项目 环境影响报告书.pdf

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太和气体(荆州)有限公司 年产3685 吨半导体特种气体项目 环境影响报告书 (征求意见稿) 建设单位:太和气体(荆州)有限公司 编制单位:武汉华咨同惠科技有限公司 二〇二一年三月 年产3685 吨半导体特种气体项目环境影响报告书 概 述 一、工程建设背景 随着半导体工业的迅猛发展,业界对半导体特种气体的品种、数量、质量及 纯度都提出来更高的要求。一旦半导体特种气体的纯度或是净度不达标,轻则使 得产品质量不过关,重则扩散污染整条产品线,甚至报废,造成巨额损失。半导 体特种气体在半导体工业中起到举足轻重的作用,被称为电子工业的“血液”。 近两年由于贸易保护主义的升温,美国对我国的半导体产业实施了诸多“卡 脖子”手段,促使我国半导体产业国产替代加速。国家对于半导体特种气体表现 出了前所未有的重视程度,扶持半导体特种气体产业的相关政策越来越密集、越 来越细化。2017 年 1 月,工信部等四部委首次提出“加快高纯特种电子气体研 发及产业化,解决极大规模集成电路材料制约”;2019 年 12 月,工信部发布的 《重点新材料首批次应用示范指导目录(2019 版)》中指出,将用于集成电路和 新型显示的电子气体的特种气体:高纯氯气、三氯氢硅、锗烷、氯化氢、氧化亚 氮、羰基硫、乙硼烷、砷烷、甲硅烷、二氯二氢硅、高纯三氯化硼、六氯乙硅烷、 四氯化硅等列为重点新材料。 截止2018 年,美国空气化工、法液空、新林德、日本大阳日酸四家公司总 计占据了世界半导体特种气体市场的份额的94% ,占据我国半导体特种气体市场 的份额的88%,半导体特种气体作为半导体产业的上游关键原材料,供应却受制 于人,“一条产业链,半截在国外”。由于政治原因,日本一度禁止高纯度氟气出 口韩国,对韩国半导体产业的打击和影响十分的深刻,对我国半导体产业也是一 种警示。 做大做强我国半导体产业,打破国外气体公司在我国的垄断局面势在必行。 作为关键原材料的半导体特种气体掌握于外国公司之手,受国际关系影响的波动 大,难以满足我国半导体产业稳定发展的要求。半导体特种气体的国产替代的重 要性不言而喻,尤其是近两年,中美贸易争端让国内半导体特种气体行业受到了 前所未有的关注,当前动荡的国际局势下,国外气体公司的断供犹如达摩克利斯 之剑,高悬于我国半导体企业头顶,从长远考虑,为了满足我国半导体生产的连 续稳定,应当避免包括半导体特种气体在内的关键原材料供应大部分掌握在外资 I 年产3685 吨半导体特种气体项目环境影响报告书 手中,一定要培养和扶植我们自己的半导体特种气体供应商。 太和气体(荆州)有限公司(以下简称“太和气体”)成立于2010 年8 月, 位于荆州市经济技术开发区化工园区内。公司地址为荆州开发区荆监公路20 号, 东侧为荆监一级公路,南侧为华新水泥厂,西侧为空地,北侧为远大环保机械 有限公司。太和气体主营业务是致力于特种气体的研发、生产和销售,为半导 体、LCD 、光纤和太阳能电池等光电子行业提供各类特种气体产品与服务。 公司已于2010 年、2017 和2020 年分别立项建设了医疗和光电子特种气体 生产装置项目,2500 吨/年特种气体项目,年产653 吨特种气体项目,已建项目 环保手续履行情况见表1-1。 表1-1 太和气体(荆州)有限公司已建项目环保手续履行情况 审批 序号 项目名称 审批时间 批复文号 验收时间 验收批文 单位 荆州市 医疗和光电子特种气 2010 年10 荆环保审文 2013 年12 荆环保审文 1 生态环 体生产装置项目 月 [2010]205号 月 [2013]209号

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