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显微分析技术系列讲座
显微分析技术
感知物体形貌的两种方式
波经过透镜，直接成像
2015/6/30 2
成像原理的共同特点： 成像原理的共同特点：
光源透过样品，直接放大成像 探针在样品表面光栅式扫描，间接成像
光学显微镜(OM) ： 超高真空变温扫描探针显微镜 扫描隧道显微镜(STM) ：
（可见光光源）光束经玻璃透镜放大成像 扫描探针为锐利的钨丝针尖
透射电子显微镜(TEM) ： 原子力显微镜(AFM) ：
扫描探针为连接在灵敏的微悬臂上的Si 或Si N
（电子枪光源）电子束经电磁透镜放大成像 3 4
材料的锥形针尖
在样品表面接触，间接成像
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1
1987
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