扫描电镜讲义.pptxVIP

材料学中常用的分析方法Instrumental Analysis in Materials Science;第一讲;* 分辨率的极限： ?0.2?m （可见光(0.4-0.8?m)照明情况下） 放大倍数的极限： ? 2000 ? * 景深的极限： （要求金相制样）  ?0.1?m * 不能分析化学成分;* 用波长较短的电子束为光源 (25kV时，波长 ?=0.007nm )，分辨率可达 5nm，放大倍数 10-100000 ? * 扫描方式导致长物距 ? 数十 ?m （1000 ?时） 不再要求金相准备 * 以电子束诱发原子内层电子跃迁，产生一定波长 的特征x-射线，测量其能量或波长分布，将微 区图象分析与成分分析相结合;荷兰FEI公司 Sirion 扫描电子显微镜;日本电子 JSM-6700F 扫描电子显微镜;扫描电子显微镜的结构示意图;扫描电子显微镜的扫描成象方式;扫描电子显微镜探测的三种主要分析模式;三种主要的被分析信号;电子束引发产生的特征x-射线;特征x-射线谱的标定规则;特征x-射线能量