气体质量流量控制器的结构和工作原理.docxVIP

集团文件版本号：（M928-T898-M248-WU2669-I2896-DQ586-M1988） 集团文件版本号：（M928-T898-M248-WU2669-I2896-DQ586-M1988） 气体质量流量控制器的结构和工作原理 气体质量流量计/控制器的结构和工作原理 气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工，冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。 1、结构 MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行测量；在MFM基础上加上调节阀构成MFC，既可以对气体质量流量进行测量，也能对流量进行控制。 2、工作原理 气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道，其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管。由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温，里