压阻应变片式压力传感器.pptxVIP

3.1　压力传感器;测压仪表的分类：　;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;3.1压力传感器;图为膜片式应变片压力传感器，4个电阻全为工作片，全桥接法： 知：ε2＝ ε4 ,ε1＝ ε3 ， 且 ε1＝ ε3 ＝- ε2 ＝ - ε4 ＝ -ε 则： ;2.压阻式压力传感器 压阻效应:半导体材料在受力时电阻率发生变化，这一特 性称为压阻效应。 (硅、锗 / 石英片、压电陶瓷等）。 电阻变化与应变值之间的关系： 式中：灵敏系数 ， μ-应变材料的泊松比 L、ρ-分别为电阻丝的长度与电阻率 ;硅、锗等半导体材料组成的元件受到压缩或拉伸时，其电阻率ρ随应力( )的变化率 远大于一般电阻材料的灵敏系数，因此，引起半导体材料电阻相对变化的主要原因是压阻效应： 式中： —压阻系数；E—弹性摸量；σ —应力； —应变 上式表明压阻传感器的工作原理是基于压阻效应的。 扩散硅压阻式传感器的基片是半导体单晶硅，单晶硅是各向异性材料，取向不同其特性不一样，而取向是用晶向表示的，所谓晶向就是晶面的法线方向。;3.1压力传感器;3