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表1 探头
序号
探头名称
缩写
探头位置[1]
应用模式[2]
1
镜筒内二次电子探头
Inlens secondary electron detector
Inlens
镜筒内
HV、NanoVP
2
能量选择背散射电子探头
Energy selective backscatter electron detector
ESB
镜筒内
HV、NanoVP
3
二次电子探头
Secondary electron detector
SE2
样品室内
HV
4
背散射电子探头
Backscatter electron detector
BSD
可伸缩(插入式)
HV
5
低真空二次电子探头
Var
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