半导体FAB里基本的常识简介.pdfVIP

CVD 晶圆制造厂非常昂贵的原因之一，是需要一个无尘室，为何需要无尘室 答：由于微小的粒子就能引起电子组件与电路的缺陷 何谓半导体 ? 答：半导体材料的电传特性介于良导体如金属 ( 铜、铝，以及钨等 )和绝缘和橡胶、塑料 与干木头之间。 最常用的半导体材料是硅及锗。 半导体最重要的性质之一就是能够藉由一种 叫做掺杂的步骤刻意加入某种杂质并应用电场来控制其之导电性。 常用的半导体材料为何 答：硅 (Si) 、锗 (Ge) 和砷化家 (AsGa) 何谓 VLSI 答： VLSI(Very Large Scale Integration) 超大规模集成电路 在半导体工业中，作为绝缘层材料通常称什幺 答：介电质 (Dielectric) 薄膜区机台主要的功能为何 答：沉积介电质层及金属层 何谓 CVD(Chemical Vapor Dep.) 答： CVD 是一种利用气态的化学源材料在晶圆表面产生化学沉积的制程 CVD 分那几种 ? 答： PE-CVD( 电浆增强型 )及 Thermal-CVD( 热耦式 ) 为什幺要