上海半导体行业污染物排放标准（征求意见稿）.docVIP

DB31 ××××—×××× DB31 ××××—×××× PAGE PAGE I DB31上海市生态环境局 发布上海市市场监督管理局 202×- DB31 上海市生态环境局 发布 上海市市场监督管理局 202×-××-××实施 202×-××-××发布 半导体行业污染物排放标准 The discharge standards of pollutants for semiconductor industry （征求意见稿） DB31/374-202× 代替DB31/374-2006 上海市地方标准 附件2 ICS 13.040.40 CCS Z60 DB31/374—202× DB31/374—202× PAGE II PAGE I 目 次 TOC \o 1-2 \h \z 前 言 II 引 言 III 半导体行业污染物排放 1 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 定义 4 4 水污染物排放控制要求 6 5 大气污染物排放控制要求 7 6 污染物监测要求 9 7 实施与监督 13 附录A （规范性） 等效排气筒有关参数计算方法 15 前 言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件于2006年11月1日首次发布，本次修订为第一次修订。 本文件对DB31/374-2006的主要修订之处如下： ——调整了水污染物排放标准的标准分级；将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同一级别的排放标准，将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别；调整了大气污染物排放标准的排放速率控制方式，将原来按不同排气筒高度制定标准调整为执行同一标准； ——调整了污染物控制项目：增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、总锌、综合毒性；增加了大气污染物控制项目颗粒物、氯气、氮氧化物、苯、锡及其化合物、砷化氢、磷化氢、非甲烷总烃、氰化氢； ——调整了部分污染物项目的排放限值；收严了悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、总有机碳等10项水污染物项目的排放限值；收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物的排放限值； ——增加了厂界大气污染物控制点浓度限值； ——更新了部分污染物项目的测定分析方法。 本文件由上海市生态环境局提出、归口并组织实施。 本文件起草单位：上海市环境科学研究院。 DB31/374—202× DB31/374—202× PAGE II PAGE III 引 言 为贯彻《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国大气污染防治法》《中华人民共和国水污染防治法》《上海市环境保护条例》《上海市大气污染防治条例》，引导半导体行业企业生产工艺和污染治理技术的进步和可持续发展，结合上海市的实际情况，对DB31/374-2006《半导体行业污染物排放标准》进行修订。 本文件实施之日起，新制定或新修订的国家大气污染物排放标准严于本文件限值，以及国务院生态环境主管部门或市人民政府发布执行特别排放限值公告的，按照从严原则，按适用范围执行相应大气污染物排放标准。恶臭污染物执行DB31/1025。本文件实施后不再执行上海市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本文件或地方标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。 本文件由上海市人民政府202□年□□月□□日批准。 PAGE 14 PAGE 15 半导体行业污染物排放 范围 本文件规定了半导体行业企业水和大气污染物排放控制要求、监测和监督管理要求。 本文件适用于半导体行业企业或生产设施的水和大气污染物排放管理，以及建设项目的环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。 本文件规定的水污染物排放控制要求适用于半导体行业企业直接或间接向其法定边界外排放水污染物的行为。 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 7466 水质 总铬的测定 GB/T 7467 水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法 GB/T 7470 水质 铅的测定 双硫腙分光光度法 GB/T 7471 水质 镉的测定 双硫腙分光光度法 GB/T