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摘要
本文基于MEMS技术与应用课程的教学内容，设计了十个与课程核心知识点相关的验证性、设计性实验。按照实验教学规范对设计性实验教学所需的实验设备、实验过程以及实验数据分析进行了设计与验证。重点设计了涵盖整个课程知识点的四个综合性实验，验证结果表明所设计实验的实验过程和实验方法符合培养目标要求，具有灵活的可操作性，使学生通过实验过程能够充分掌握所学知识，并将其运用到解决实际问题的过程中。
关键词：MEMS技术；实验规；传感器
Abstract
This paper based on the teaching content of MEMS technology and applicat
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