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第四章光栅传感器 莫尔条纹测量原理与基本特性 1.长光栅莫尔条纹 相邻两亮线（或暗线）间的间距为两相邻k值所代表的两直线之间的距离，记以W，则W 为 横向莫尔条纹：由于两光栅的栅线夹角θ 很小，条纹近似与栅线的方向垂直，故称为横向莫尔条纹。 纵向莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0，且两光栅栅距不等时产生的莫尔条纹。 光闸莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0, 且两光栅栅距相等时产生的莫尔条纹。 横向莫尔条纹 光闸莫尔条纹 纵向莫尔条纹 第四章光栅传感器 长光栅莫尔条纹 播放动画 第四章光栅传感器 长光栅光闸莫尔条纹 播放动画 第四章光栅传感器 播放中…… 圆弧莫尔条纹 单击准备演示 播放动画 第四章光栅传感器 光闸莫尔条纹 播放动画 播放中…… 第四章光栅传感器 环形莫尔条纹 播放动画 播放中…… 单击准备演示 第四章光栅传感器 单击准备演示 辐射形莫尔条纹 播放动画 2) 莫尔条纹的特征 ①、位移放大作用 相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角θ的关系为： B 结论： θ越小, k越大，B越大。 例如：θ=0.1°， W=0.02mm时 θ=0.1°=0.1×2π/360=0ad 则：B=11.4592mm。 莫尔条纹间距放大了光栅间距，令k为放大系数，则： ②、运动对应关系 通过莫尔条纹的运动特性判别光栅的运动特性 光栅移动一个栅距，莫尔条纹移动一个条纹间隔； 光栅改变运动方向，莫尔条纹随之改变运动方向。 当移动的刻线数i和角度θ一定时，莫尔条纹间距B与移动距离x成正比，即： ③ 误差的平均效应 光电元件对光栅的栅距误差具有平均消差作用。 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成, 几条刻线的栅距误差或断裂对莫尔条纹的位置和形状影响甚微。能在很大程度上消除短周期误差的影响。 莫尔条纹测量原理与基本特性 2. 圆光栅的莫尔条纹 计量圆光栅的系统结构和长光栅的结构类似，一般由黑白光栅副和光学系统、接收系统所组成。 根据光栅栅线形状的不同，圆光栅分为： 圆形 直线形 径向辐射光栅 切向光栅 由于各类圆光栅本身结构上的差别，使它们各自的莫尔条纹的形状也各不相同。 莫尔条纹测量原理与基本特性 图 4?6 节距角相同的两径向光栅偏心叠合 节距角相同的两径向光栅偏心叠合 圆光栅莫尔条纹具有的基本特性有 （1）莫尔条纹横向性与纵向性 （2）条纹宽度非定值空间角位移与条纹平移量关系非线性 光栅Ol的第n′ 条栅线的方程（见图 4?6b）为 同样，光栅O2的第n条栅线（见图 4?6c）的方程为 经整理得： 节距角相同的两个径向光栅的偏心叠合时，所形成的莫尔条纹的特征是它的莫尔条纹成圆状，其条纹的圆心位于OY上，各级圆状莫尔条纹均通过两光栅的中心O1及O2（见图 4?6a）。 工作原理： 利用光栅的莫尔条纹现象实现几何量的测量：光栅的相对移动使透射光强度呈周期性变化，光电元件把这种光强信号变为周期性变化的电信号，由电信号的变化即可获得光栅的相对移动量。 特点： 数字式传感器：能把被测的模拟量直接转换成数字量。与模拟传感器相比，数字式传感器抗干扰能力强,稳定性强;易于微机接口,便于信号处理和实现自动化测量。 4.2 光栅传感器的工作原理 一、光电转换原理 1－光源；2－聚光镜；3－光栅主尺；4－指示光栅； 5－光敏元件；6－莫尔条纹；7－光强分布 光栅传感器 主光栅和指示光栅在平行光的照射下，形成莫尔条纹。主光栅的精度决定了整个装置的精度。光电元件把光栅形成的莫尔条纹的明暗强弱变化转换为电量输出，主要有光电池和光敏晶体管。 一、 光栅传感器的结构与分类 3.光栅传感器的组成 莫尔条纹 两块光栅：一块为指示光栅与工作台固定．一块为长光栅．工作台前后移动的距离由两块光栅形成的莫尔条纹进行计数得到．指示光栅相对移动一个节距，莫尔条纹变化一周．指示光栅移动的距离为： Ｎ：指示光栅移动距离中包含的光栅线对数，δ：小于１个光栅节距的小数． 简单光栅读数头 １：灯，２：聚光镜，３：指示光栅，４：长光栅，５：光电探测器 第四章光栅传感器 第七章 光栅传感器 第四章光栅传感器 第四章光栅传感器 传 感 器 与 检 测 技 术 光 栅 传 感 器 第四章光栅传感器 第四章光栅传感器 第四章光栅传感器 现代传感技术 黄元庆 现代传感技术 黄元庆 第四章光栅传感器 第四章光栅传感器 第四章 计量光栅传感技术 4.1 光栅基础 1.光栅的结构 光栅是在一块长条型（圆形）光学玻璃（或金