第三章电容式传感器研究.pptVIP

第三章?? 电容式传感器 ; 电容式传感器;§3.1 电容式传感器的工作原理;3.1.1 工作原理与类型 （一）工作原理 用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时，其电容C为 S—极板相对覆盖面积； d—极板间距离；εr—相对介电常数； ε0 —真空介电常数，ε —电容极板间介质的介电常数。 ε0 ＝1/(4∏*9*1011) F/cm =1/(3.6∏) pF/cm= 8.85 pF/m ； d、S和εr中的某一项或几项有变化时，就改变了电容C,这就是电容式传感器的基本原理。;变极距(d）型: (a)、(e) 变面积型(S)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g)、（h） 变介电常数(ε )型: (i)、(j)、(k)、(l) ;3.1.2 变面积(s)型电容传感器;平面线位移型;;面积变化型;柱面线位移型.;圆柱型电容传感器 圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，是实际中最常采用的结构，其中线位移单组式的电容量C在忽略边缘效应时为 l—外圆筒与内圆柱覆盖部分的长度； r2、r1 —圆筒内半径和内圆柱外半径。 当两圆筒相对移动Δl时，电容变化量ΔC为;3.1.3 变极距(d)型电容传感器 ; 当?dd0，将上式展开为级数;展开为级数：;3.1.4 变介电常数型电容式传感器;若忽略边缘效应，圆筒式液位传感器如下图