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电子显微镜室简介
我室的电镜型号和性能如下:
H-600A型透射电镜,购于1989年,最大点分辨率为0.36nm,有效放大倍数达30万倍。
H-7500型透射电镜,购于2004年,最大点分辨率为0.24nm,有效放大倍数达60万倍。
S-3000N型扫描电镜,购于2004年,有效放大倍数达30万倍。; 1924年,法国物理学家Broglie提出了“电子与光一样,
具有波动性“的假说,并计算出电磁波长为0.005nm.
1926年,德国科学家Busch发现了带电粒子在电场或磁
场中偏转聚焦的现象,类似于光线通过透镜可被聚焦一样。
1928—1931年间,德国年轻的大学生Ruska测量了磁透
镜的聚焦特性,并开展了电子放大成像的研究,终于在1938
年成功研制了世界上第一台真正的电子显微镜,放大倍数为
1200倍,被誉为电子显微镜之父。,并在1986年获得诺贝尔
奖。
20世纪50年代初到60年代末期,电镜发展很快,从性能
到构造都得到很大的改进,特别是分辨本领得到大幅度提高,
达到1nm左右,到80年代的点分辨率已接近0.1nm,最新研制
的超高压透射电镜的点分辨率可达0.005nm。;电镜的基本类型:; ; 可以这么说,显微镜分辩本领是由其产生的衍射图中央亮斑半径 D(分辨能力) 而定: 阿贝公式: D =当光的波长为 λ= 500nm = 0.5μm介质折射率 N(油) = 1.5物体与物镜所形成夹角的半数 α90o 中央亮斑的半径 D = 200nm = 0.2μm ;分辨本领测算: ;瑞利准则;运动着的电子所产生电磁波长为: λ= (n m)
如 V = 50000 v
则 λ = 0.005 nm= 0.000005μm
是光的λ=500nm 的10万分之一,
大大减少了衍射光斑D的值。; 光学显微镜与电子显微镜在工作原理上的比较:
光学显微镜是利用玻璃制作的透镜对光进行折射,将一物点发出不同角度的光线最终会聚成一个像点。
电子显微镜是利用电场或磁场折射电子束,达到成像目的。
;光 源
聚光镜
样 品
物 镜
投影镜
最终象; 镜筒内部结构示意图:
1) 照明系统:
电子枪 聚光镜
2) 样品室
3) 成象系统:
物镜 中间镜 投影镜
4) 观察记录系统:
观察室 照相机
;;二、电子显微镜的成像系统
1、物镜
由铁壳包裹的线圈组成,是电镜成像系统的
关键性部件。在物镜中心位置同样装有精密度极高
的极靴,以及要求很高的肖像散部件,以尽量消除
成像过程中难以完全避免的像散现象,保证成像的
清晰度。在物镜的后焦面装有可动光阑片,可根据
具体情况来调整光阑孔的大小。
2、中间镜
也是由铁壳包裹的线圈组成,位于物镜和投影镜
之间,作用是将物镜所成的放大像进一步放大。目前
高档的电镜可设有三极中间镜。
3、投影镜
也是由铁壳包裹的线圈组成,作用是将以上成像进
一步放大并投影于荧光屏上,激发荧光,形成影象。;三、观察记录系统
1、荧光屏
为圆形平面结构,上面涂以荧光粉,当高速
电子撞击其表面时,便激发出荧光,从而使观察
者能通过含铅玻璃窗口直接看到影象。
2、照相室
在荧光屏的下边,装有电镜软片,通过电子
束直接轰击软片表面而使软片爆光,从而使观察
影象以底片或照片的形式保存下来。;四、真空系统
由低真空和高真空两极真空泵构成。前者称为机械泵,排气气压达0.01mmHg;后者称为扩散泵,
排气气压可达0.0001mmHg以下。
真空系统的作用是使镜筒内部获得高真空。如果镜筒内真空度较差,将会:
1)气体分子与高速电子相 互作用,随机地散射电子,降低象的反差。
2)电子枪中存在残余气体,会产生电离和放电,引起电子束发射不稳定。
3)残余产体与白灯丝发生作用,降低灯丝寿命。
4) 残余产体在样品周围会污染样品。;
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