电容式微机械超声换能器（cmut）设计及其封装技术研究.pdfVIP

中北大学学位论文 电容式微机械超声换能器(CMUT)设计及其封装技术研究 摘要 基于表面微加工工艺制作的电容式微机械超声换能器具有结构简单、自身噪声低、 高机电耦合系数、高分辨率、高灵敏度、宽频带、与介质阻抗匹配性好等优势，从被提 出以后就得到广大科研人员的关注，其在海底资源勘探、水下地形地貌探测以及医疗成 像等领域有着广泛的应用前景，因此对 CMUT 展开理论分析和基础应用研究，有着极 其重要的科研价值。主要研究内容如下： 1 根据不同分析内容，建立了 3 种 CMUT 模型。在振动模型中，计算圆形振动 薄膜 的振动位移方程；通过平行板电容模型研究了 CMUT 的塌陷电压、机电耦合系数、 接 收灵敏度、发射声压等参数；在等效电路模型中，详细分析了有效电容、机械阻抗等 参 数。 2 应用 COMSOL Multiphysics 建立了 CMUT 微元有限元模型。根据特征频率 分析， 确定了 CMUT 微元薄膜半径、薄膜厚度参数；通过机电耦合分析研究电极厚度 、电极 半径与塌陷电压的关系，确定电极结构参数；在静态分析中，研究薄膜在标准大 气压下 的位移和应力变化情况，得出 CMUT 空腔高度。CMUT 参数确定后，通过模态 分析和 谐响应分析去验证所设计 CMUT 结构参数的正确性，并根据瞬态分析研究 CMUT在交 直流信号激励下的振动位移和速度。 3 指向性是 CMUT 在远场的重要特性之一，推导出 CMUT 微元、CMUT 阵元 和 CMUT 阵列指向性函数，并详细分析 CMUT 结构参数对 CMUT 阵列指向性的影响， 随之确定 CMUT 阵元中的微元个数、CMUT 阵元间距。根据声场理论，推导 CMUT 微 元、CMUT 阵元和 CMUT 阵列的声场声压分布公式。 4 在平行板电容模型，静电力在 CMUT 的工作中发挥着不可替代的作用，由于 静电 力具有非线性，使得 CMUT 在发射过程中存在非线性特性。为了消除、抑制 CMUT 的非 线性，采用去除直流偏置电压，以消除谐波分量；采用改变激励信号类型，根据功 率谱 抑制效果，选用双极性脉冲；依据倍角公式，采用线性和非线性补偿方法，消除二 次谐 波分量。 5 根据实际应用情况，本文研究 CMUT 芯片的封装方法并设计封装结构，并根 中北大学学位论文 据声学理论，详细分析 CMUT 外壳封装的材料选择、结构参数、应力大小、透声系数， 最终实现 CMUT 的水密封装。搭建 CMUT 实验系统，对所设计的 CMUT 的发射性能、 接收性能、指向性和带宽性能进行测试，测试结果表明，设计的 CMUT 阵列能够满足 水下成像要求。 关键词：CMUT ，结构设计，指向性，声场，非线性，封装 中北大学学位论文 Design of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer and Research on Encapsulation Technology Abstract The invention of capacitance mechanical ultrasonic transducer (CMUT) based on MEMS micro processing technology has get the attention of many researchers, because it has the advantage of simple structure, low noise, high electromechanical coupling coefficient, high resolution, high sensitivity, wide bandwidth and impedance matching with the media. It has a wide application value and foreground in the field of seabed resource exploratio