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基于ZEMAX的半导体激光准直镜设计方法研究 基于ZEMAX的半导体激光准直镜设计方法研究 文章编号：１６７２—８７８５（２０１２）０３—００２２—０５ 基于ＺＥＭＡＸ的半导体激光准直镜 （电子测试技术重点实验室，山东青岛２６６５５５） 摘要：针对目前采用单个球面镜压缩激光时存在发散角效果差或者球面镜片数过多的问题，通过ＡＢＣＤ矩阵法从理论上对高斯光束经过单透镜时的传输特性进行了分析，得出了单透镜无法实现半导体激光光束理想准直的结论。提出了一种基于ＺＥＭＡＸ的半导体光源准直镜的设计方案，并给出了设计与优化方法。结合工程中常用的８０８ 半导体激光器，设计了双片型８０８ｎｍ半导体激光准直镜，并在ＺＥＭＡＸ中使用合适的优化函数和权重对像差进行了校正。通过采用非球面镜获得了较好的准直效果，发散角达到了ｏ．０３２ｍｒａｄ。该设计使用的镜片数较少，结构简单。关键词：半导体激光；准直镜；ＺＥＭＡＸ；非球面；像差中图分类号：ＴＮ２４８．４ 文献标识码：Ａ ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７２—８７８５．２０１２．０３．００５ Ｒｅｓｅａｒｃｈ ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＣｏｌｌｉｍａｔｏｒ ＤｅｓｉｇｎＢａｓｅｄ Ｊｕｎ—ｎｉｎｇ Ｊｉａｎ—ｈｕａ，ＷＡＮＧ （Ｓｃｉｅｎｃｅ Ａｂｓｔｒａｃｔ： ａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｔｅｓｔ＆ＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＬａｂｏｒａｔｏｒｙ，Ｑｉｎｇｄａｏ２６６５５５，Ｃｈｉｎａ） ｓｉｎｇｌｅｓｐｈｅｒｉｃａｌｍｉｒｒｏｒｉｓｕｓｅｄｔｏｃｏｍｐｒｅｓｓｌａｓｅｒｂｅａｍｓ，ｔｈｅｒｅｕｓｕａｌｌｙｉｓ ｐｒｏｂｌｅｍ ｔｈａｔｔｈｅｐｏｏｒｄｉｖｅｒｇｅｎｃｅ ｂｅｒｅｓｕｌｔｅｄｉｎ ｍａｎｙｓｐｈｅｒｉｃａｌｌｅｎｓｅｓｈａｖｅ ｂｅｕｓｅｄ．Ｂｙｕｓｉｎｇ ＡＢＣＤｍａｔｒｉｘｍｅｔｈｏｄｔｏａｎａｌｙｚｅｔｈｅＧａｕｓｓｂｅａｍｐａｓｓｉｎｇｔｈｒｏｕｇｈｔｈａｔｔｈｅ ｓｉｎｇｌｅｌｅｎｓｉｎｔｈｅｏｒｙ，ａｃｏｎｃｌｕｓｉｏｎ ｂｅａｍｆｒｏｍ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒ ｂｅｃｏｌｌｉｍａｔｅｄｉｄｅａｌｌｙｗｉｔｈ ｓｉｎｇｌｅｌｅｎｓｉｓｄｒｅｗ．Ａｄｅｓｉｇｎ ｓｃｈｅｍｅｂａｓｅｄＺＥＭＡＸ ｐｒｏｐｏｓｅｄｆｏｒｔｈｅｃｏｌｌｉｍａｔｉｏｎｏｆ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒｓｏｕｒｃｅ．Ｔｈｅｄｅｓｉｇｎ ａｎｄｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｉｓｇｉｖｅｎ．Ｆｏｒ ８０８ａｍｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒｃｏｍｍｏｎｌｙｕｓｅｄｉｎｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ａ ｃｏｌｌｉｍａｔｏｒｗｉｔｈｔｗｏｌｅｎｓｅｓｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄａｎｄｉｔｓａｂｅｒｒａｔｉｏｎｉｓｃｏｒｒｅｃｔｅｄｂｙｕｓｉｎｇｔｈｅｐｒｏｐｅｒｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｆｕｎｃｔｉｏｎａｎｄｗｅｉｇｈｔｉｎＺＥＭＡＸ．Ｂｙｕｓｉｎｇａｎｏｎ－ｓｐｈｅｒｉｃａｌｓｕｒｆａｃｅ，ｆｉｎｅｃｏｌｌｉｍａｔｉｏｎｉｓｉｍｐｌｅｍｅｎｔｅｄａｔａ ｄｉｖｅｒｇｅｎｃｅａｎｇｌｅｏｆ０．０３２ｍｒａｄ．Ｔｈｉｓｄｅｓｉｇｎｈａｓｔｈｅｆｅａｔｕｒｅｓｏｆｌｅｓｓｌｅｎｓｅｓａｎｄｓｉｍｐｌｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ： ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒ；ｃｏｌｌｉｍａｔｏｒ；ＺＥＭＡＸ；ｎｏｎ—ｓｐｈｅｒｉｃａｌ；ａｂｅｒｒａｔｉｏｎ 半导体激光器（ＬＤ）具有体积小、质量轻、功耗低以及可直接调制等特点，已被广泛应用 收稿日期：２０１２－０２—１３ 基金项目；重点实验室基金项目（９１４０Ｃ１２０３１５１００Ｃ１２） 于材料加工、激光显示、医疗、通信和国防等领域。激光光束的质量对于半导体激光器的总体表现至关重要。优质的准直透镜是制造高性能半导体激光器光束聚焦和照明系统的关键元件 作者简介：聂建华（１９８３一），男，安徽人，助理工程师，主要从事光电子测试仪器的研发工作。Ｅ—ｍａｉｌ：ｅｉｑｄ＠ｅｉ４１．ｃｏｍ ＩＮＦＲＡＲＥＤ（ＭＯＮＴＨＬＹ）／ＶＯＬ．３３，ＮＯ．３，ＭＡＲ ｈｔｔｐ：／／ｊｏｕｒｎａｌ．ｓｉｔｐ．ａｃ．ｃｎ／ｈｗ 蠢麓嚣粪誉鎏蒸鬻ｉｉ熏鬻粪誉藜霉攀鬻纂纂鬻溪蒺鬻爨麟鬻熬蘩鬻 ［１－３］。中心波长为８０８ｎｍ的半导体激光属于是用来有效纠正球面像差等各种像差。采用非