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- 2021-07-19 发布于天津
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第25章透射电子显微镜
透射电子显微技术自20世纪30年代诞生以来,经过数十年的发展,现已成为材料、化学化工、 物理、生物等领域科学研究中物质微观结构观察、 测试十分重要的手段。电子显微学是一门探索电
子与固态物质结构相互作用的科学,电子显微镜把人眼睛的分辨能力从大约 0.2 mm拓展至亚原子
量级(<0.1nm),大大增强了人们观察世界的能力。尤其是近 20多年来,随着科学技术发展进入纳
米科技时代,纳米材料研究的快速发展又赋予这一电子显微技术以极大的生命力, 可以这样说,没
有透射电子显微镜, 就无法开展纳米材料的研究; 没有电子显微镜,开展现代科学技术研究是不可
想象的。目前,它的发展已与其他学科的发展息息相关,密切联系在一起。
25.1 基本原理
透射电子显微镜在成像原理上与光学显微镜是类似的(图 25-1),所不同的是光学显微镜以可
见光做光源,而透射电子显微镜则以高速运动的电子束为 光源”。在光学显微镜中,将可见光聚焦
成像的是玻璃透镜;在电子显微镜中,相应的电子聚焦功能是电磁透镜,它利用了带电粒子与磁 场间的相互作用。
理论上,光学显微镜所能达到的最大分辨率 d,受到照射在样品上的光子波长 入以及光学系统
的数值孔径Na的限制:
, 九 九 一,
d= 之 (25-1)
2nsin 1 2Na
在20世
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