光刻胶最新分析和总结.pdf

. ````4. 光刻胶 光刻胶主要由树脂（ Resin）、感光剂（ Sensitizer ）、溶剂（ Solvent ）及添加 剂 （Additive ） 等 不 同 的 材 料 按 一 定 比 例 配 制 而 成 。 其 中 树 脂 是 粘 合 剂 （ Binder ），感光剂是一种光活性（ Photoactivity ）极强的化合物，它在光刻胶内的 含量与树脂相当，两者同时溶解在溶剂中，以液态形式保存，以便于使用。 4.1 光刻胶的分类 ⑴ 负胶 1. 特点 ·曝光部分会产生交联（ Cross Linking ），使其结构加强而不溶于现像液； ·而未曝光部分溶于现像液； ·经曝光、现像时，会有膨润现像，导致图形转移不良，故负胶一般不用于 特征尺寸小于 3um 的制作中。 2. 分类 （按感光性树脂的化学结构分类） 常用的负胶主要有以下两类： ·聚肉桂酸酯类光刻胶 这类光刻胶的特点， 是在感光性树脂分子的侧链上带有肉桂酸基感光性官 能团。如聚乙烯醇肉桂酸酯（ KPR 胶）、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯（ OSR 胶）等。 ·聚烃类—双叠氮类光刻胶 这种光刻胶又叫环化橡胶系光刻胶。 它由聚烃类树脂 （主要是环化橡胶）、 双叠氮型交联剂、增感剂和溶剂配制而成。 3. 感光机理 ① 肉桂酸酯类光刻胶 KPR 胶和 OSR 胶的感光性树脂分子结构如下： . 在紫外线作用下，它们侧链上的肉桂酰官能团里的炭－炭双键发生二聚反应， 引起聚合物分子间的交联，转变为不溶于现像液的物质。 KPR 胶的光化学交联反应 式如下： 这类光刻胶中的高分子聚合物，不仅能在紫外线作用下发生交联，而且在一定 温度以上也会发生交联，从而在现像时留下底膜，所以要严格控制前烘的温度与时 间。 . ② 聚烃类—双叠氮类光刻胶 这类光刻胶的光化学反应机理与前者不同，在紫外线作用下，环化橡胶 分子中双键本身不能交联，必须有作为交联剂的双叠氮化合物参加才能发生交联反 应。交联剂在紫外线作用下产生双自由基，它和聚烃类树脂相作用，在聚合物分子 之间形成桥键，变为三维结构的不溶性物质。其光化学反应工程如下： 首先，双叠氮交联剂按以下方式进行光化学分解反应： 双叠氮交联剂分解后生成的双氮烯自由基极易与环化橡胶分子发生双键交联 （加成）和炭氢取代反应，机理如下： ⑵ 正胶 1. 特点 ·本身难溶于现像液，曝光后会离解成一种溶于现像液的结构； . ·解像度高，耐 Dry Etch 性强等。 2. 分类 （按感光性树脂的化学结构分类） 目前正胶常用的主要指邻－叠氮醌类光刻胶。胶中所含邻－叠氮醌化合物 的化学结构式为： 3. 正胶成分 . 4. 感光机理 邻－叠氮醌化合物经紫外线照射后， 分解释放出 N2 ，同时分子结构进行重 排，产生环收缩作