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电子探针基本原理及应用清华大学材料中心实验室李 君2012.4.12培训内容1、电子探针简介2、电子探针原理和构造3、电子探针的应用4、电子探针的优势5、样品制备和要求6、培训计划与安排1、电子探针简介EPMA=Electron Probe Micro Analyzer各种信号特点： 微区定量分析（ μm范围内） 具备SEM功能 元素分析范围：B～U 配备波谱仪 灵敏度、定量准确度高形貌观察元素分析EPMA=SEM+WDS2、电子探针原理和构造2.1 电子探针分析的原理 ① 二次电子和二次电子像 ② 背散射电子和背散射电子像 ③ 定性分析的原理 ④ 定量分析的原理2.2 电子探针的构造 ① 电子光学系统 ② 波谱仪2.1 电子探针分析的基本原理 形貌观察 二次电子、背散射电子 元素成分分析 特征X射线（波谱仪）电子与样品相互作用产生的各种信息2.1.1 二次电子和二次电子像二次电子入射电子使样品原子较外层电子电离产生的电子二次电子特点 能量低，仅样品表层5-10nm以 内的深度才能逸出。 二次电子产额δ ∝ K/cosθ， θ越大，产额越高。各种信息在试样中的穿透深度入射电子二次电子试样θ因此，二次电子像用于观察表面形貌二次电子产额与入射角的关系2.1.2 背散射电子和背散射电子像 背散射电子 入射电子与试样相互作用之后再次逸出试样表面的电子。 背散射电子的特点 能量高 背散