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半自动清洗作业指导书 编制 (修改 )/ 日期 审核 / 日期 批准 / 日期 修改记录 修改历史记录 生效日期 版本/ 次 变更说明 编制/ 修改 批准 一、目的 : 本工序是将脱胶完成装进花篮的硅片进行表面超声波清洗，以去掉硅片表面的油污。 二、适用范围： 本文件只适合浙江光科新能源硅片加工车间半自动超声波清洗工序。 三、物料需求： 1、装进花篮待清洗的硅片； 四、工艺流程： 装片 鼓泡（超声） 超声波清洗 纯水清洗 甩干 五、工艺步骤： 5.1 打开纯水阀门，分别给机器清洗槽内加水（水槽内全是 15M纯水），三、四 . 五槽 内水位加至 110L； 5.2 打开“电源”、“加热”、“超声”开关，检查设备运行状态是否正常； 5.3 将半自动清洗机的水槽内加