培训系列之五：真空系统设计.pptx

;之一：真空技术的历史、现在与将来 之二：真空工程理论基础 之三：科技论文的检索、撰写与发表 之四：清洁真空获得技术 之五：真空系统设计 之六：真空系统设计辅助软件的使用 之七：真空测量 之八：真空装置与系统的检漏 之九：大型真空装置的监测与故障诊断 之十：专家座谈 之十一：真空获得技术 之十二：现代表面与薄膜技术 之十三：真空材料与真空卫生 之十四：真空技术应用及计算实例 ;磁控溅射镀膜机;金属蒸汽真空弧源注入机;1.真空系统的组成 1.1 真空系统的概念 1.2 真空系统的组成元件 1.3 真空系统示意图 1.4 高真空系统 1.5 真空系统设计的基本内容 2.真空技术基本方程 2.1 真空系统的最主要性能参数： 极限真空度、有效抽速 2.2 流导的定义 2.3 真空技术基本方程 2.4 真空技术基本方程在真空系统设计中的意义 3.真空系统的设计计算 3.1 主泵 3.2 配泵 3.3 储气罐和维持泵 3.4 真空系统设计中应该注意的问题 3.5 真空系统的典型形式 3.6 真空系统的结构设计 3.7 真空系统操作规则;1.真空系统的组成;1.1 真空系统的概念;1.2 真空系统的组成元件;1.3 真空系统示意图;1.4 高真空系统; ; ;1.5 的基本内容;2.真空技术基本方程;2.1 真空系统的最主要性能参数： 极限真空度和有效抽速;2.2 流导的定义;2.3 真空技术基本方程;2.4 真空技术基本方程在中的意义;3.真空系统的设计计算;3.1 选主泵;;; ; ;;;;;;3.2 配泵; ;;;;3.3 储气罐和维持泵; 罗茨泵旋片泵维持泵; 储气罐的应用;3.4 真空系统设计中应该注意的问题;; ;;; ;;;; ; ; ; ; 罗茨水环泵机组;; ; ;; ;; ;; ;; ; ;3.6 真空系统的结构设计; ; ;; ;;真空系统组成元件;1 真空阀门;1.1 概 述;真空阀门在真空系统中的作用;真空阀门的分类;1.2 真空阀门的几种典型结构;隔膜阀;;真空球阀;;真空蝶阀;;插板阀;;;挡板阀;;翻板阀;;电磁阀;;针阀;;超高真空阀;;玻璃真空活塞;;无油玻璃真空阀;;2 捕集器;2.1 挡油帽;挡油帽的设计方法如图31所示:先划出导流管和喷咀外沿的连结线AB,再在距B为1cm左右处引垂线CD,延长AB与CD交于E点,此即挡油帽的外缘。这样确定挡油帽外缘的位置则不会挡住工作液蒸气射流。;图33是挡油帽的一种经验设计,实???表明,这种挡油帽的挡油效果较好,且对泵的抽速没有太大的影响。;各种型式挡油帽的挡油效果如图34所示,图中(a)是不加挡油帽,设此时返油量为1;(b)、(c)、(d)、(e)等表示加挡油帽及水冷套等措施后的返油量,数值愈小,挡油效果愈好。;2.2 机械捕集器;概述;机械捕集器的型式如表4;机械捕集器的设计原则及其典型结构;在设计障板时应注意以下原则:;典型的几种机械捕集器的结构如图35至图38所示。;2.3 冷凝捕集器;概述;冷阱的典型结构;图39是一种长效冷凝捕集器。;图40的结构具有较大流导,可防止蒸气分子向上蠕动。;图41是一种高效冷凝捕集器。;图44是一种复合式冷阱。;图45是中心带有液氮罐的冷阱。;　　玻璃冷阱采用杜瓦瓶的形式,分为两层或多层,两层之间抽成高真空,以降低热传导损失。玻璃冷阱的型式很多,图46是常见的几种玻璃冷阱的结构。;2.4 吸附捕集器;图47是一种活性氧化铝吸附阱,其中放置3～10mm的球状吸附剂,挡油效率可达99%,主要用于前级管道。;图48是一种分子筛吸附阱。其特点是:分子筛烘烤激活是用放在中心的管状加热器,被吸附的蒸气从接管排出,这样不必移出分子筛,结构又简单操作也方便,这样的吸附阱最高可捕集返流油蒸气的99.7%。;图49所示的吸附阱,是在一根长127mm,直径51mm的圆管两端加固定网,管中放置不同的吸附剂,其挡油效果见表7。;利用分子筛作为吸附阱的吸附剂时,值得注意的是:分子筛能大量地吸附大气中的水蒸汽,而吸附水份后的吸附剂对其它气体的吸附能力大大降低。 在使用中应避免分子筛吸附阱经常暴露于大气中,因为在大气中几小时内分子筛就能吸收超过2%的水份。 在使用前应对分子筛进行预处理,如在真空中进行烘烤,除去水份。 再者,重复再激活分子筛会使它的吸附能力下降,当烘烤温度高于350℃,长时间的烘烤将引起吸附能力的迅速退化。;课程结束;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。7月-217月-21Sunday, July 18, 2021 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。02:55:1802:55:1802:557/18/