压力传感器的种类和作用.pdf

压力传感器的种类、原理和运用 点击次数： 62 发布时间： 2009-7-14 14:12:31 压力传感器是由敏感元件、转换元件、后续处理部分组成，压力传感器一般应用应变片来实现压力的测量，应变片的 制造原理是依据桥式电路， 当在桥臂上的电阻满足这样的条件： R1R3=R2R4时电桥平衡， 则输出的电压为零， 当电阻由变化的时候， 电桥不平衡，有一定的电压输出。可分为单臂电桥、双臂电桥、全臂电桥，其输出的电压与电阻的变化量成近似的线性变化。 下面是 5 种常用的压力传感器的原理及应用 1 、陶瓷压力传感器原理及应用 抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产 生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥 ( 闭桥 ) ，由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个 与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，标准的信号根据压力量程的不同标定为 2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V 等， 可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定，传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性，传感器自带温度补偿 0 ～ 70 ℃ ，并 可以和绝大多数介质直接接触。 陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它 的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达 -40 ～ 135 ℃ ，而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度 2kV ，输出信号 强，长期稳定性好。高特性，低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势，在 中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩散硅压力传感器。 2 、应变片压力传感器原理与应用 力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式 压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压 力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 在了解压阻式力传感器时， 我们首先认识一下电阻应变片这种元件。 电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。 它是压阻式应 变传感器的主要组成部分之一。 电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。 金属电阻应变片又有丝状应变片和 金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上，当基体受力发生应力变化时，电阻应 变片也一起产生形变，使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较 小，一般这种应变片都组成应变电桥，并通过后续的仪表放大器进行放大，再传输给处理电路 ( 通常是 A/D 转换和 CPU ) 显示或执 行机构。电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象， 俗称为电阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示： 式中： ρ—— 金属导体的电阻率 ( Ω·cm2/m ) S —— 导体的截面积 ( cm2 ) L —— 导体的长度 ( m ) 我们以金属丝应变电阻为例，当金属丝受外力作用时，其长度和截面积都会发生变化，从上式中 可很容易看出，其电阻值即会发生改变，假如金属丝受外力作用而伸长时，其长度增加，而截面积减少，电阻值便会增大。当金属 丝受外力作用而压缩时，长度减小而截面增加，电阻值则会减小。只要测出加在电阻的变化 ( 通常是测量电阻两端的电压 ) ，即可获 得应变金属丝的应变情 3 、扩散硅压力传感器原理及应用 工作原理 被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上 ( 不锈钢或陶瓷 ) ，使膜片产生与介质压 力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信 号。 4 、蓝宝石压力传感器原理与应用 利用应变电阻式工作原理，采用硅 - 蓝宝石作为半导体敏感元件，具有无与伦