共焦测量实验.pdf

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中山大学光信息专业实验报告:共焦测量实验 实验人:何杰勇( 合作人:徐艺灵 组号 B13 (2014 年 3 月 27 日星期四) 【实验目的】 1. 了解共焦成像原理及其测量特点; 2. 掌握用共焦成像法测量物体表面的平整度; 3. 了解激光共焦测量的应用场合。 【实验基本原理】 1. 激光共焦测量基本原理 共焦成像分为反射式和透射式两种,

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