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- 2021-08-22 发布于天津
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加速度计的原理及运用高鹏黄国胜目录加速度计基本原理分析简介微加速度计的类型差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理微加速度计的制造工艺微加速度计主要性能指标的设计和控制加速度计的其它结构各厂商加速芯片参数对比线性度灵敏度与功耗加速度计国内外现状微加速度计的发展趋势加速度计应用前景分析用加速度计测量加速度角度简介随着技术的发展惯性传感器件在过去的几年中成为最成功应用最广泛的微机电系统器件之一而微加速度计就是惯性传感器件的杰出代表微加速度计的理论基础就是牛顿第二定律根据基本的物理原理在一个系统内部速
MEMS加速度计的原理及运用
高鹏 黄国胜
2006.12.19
目录
1.MEMS加速度计基本原理分析
1.1 MEMS简介
1.2 微加速度计的类型
1.3 差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理
1.4 MEMS微加速度计的制造工艺
1.5 MEMS微加速度计主要性能指标的设计和控制
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