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集成电路工艺考试题.pdfVIP

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  • 2021-08-21 发布于河北
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集成电路工艺考试题.pdf

    精品文档 一、名词解释 （1）化学气相沉积：化学气体或蒸气和晶圆表面的固体产生反应，在表面上以薄膜形式产 生固态的副产品，其它的副产品是挥发性的会从表面离开。 （2 ）物理气相沉积： “物理气相沉积 ”通常指满意下面三个步骤的一类薄膜生长技术 : a. 所生长的材料以物理的方式由固体转化为气体 ;b. 生长材料的蒸汽经过一个低压区域 到达衬底 ;c. 蒸汽在衬底表面上凝聚，形成薄膜 (3) 溅射

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