多晶硅还原炉电气系统的设计和应用.pdfVIP

多晶硅还原炉电气系统的设计和应用 一． 综述 多晶硅还原炉电气系统的主要设备是大功率调压器。调压器所带负载是多晶硅棒串联而成的纯电阻负载。调压 器的作用实际上是对负载电阻进行电加热，并且保持硅棒表面温度恒定（一般 1080℃）。硅棒串联而成的电阻是一 个变化的电阻：第一，硅棒温度从常温上升到 1000℃，Φ 8 直径硅芯电阻从几百 k Ω下降到几十Ω；第二，保持硅 棒表面温度 1080℃，硅棒直径从Φ 8 增加到Φ 150，硅棒电阻从几十Ω下降到几十