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脉宽调制型差动电容位移传 感器的研究 第一章 绪论 1.1 本课题研究背景 在工、农业生产、科学研究、国防建设及国民经济的各部门中，经常需要检测各种参 数和物理量，获取被测对象的定量信息，以便进行监视和控制，使设备或系统处于最佳运 行状态，并保证生产的安全、经济及高质量。在现代科学研究和新产品设计中，为了掌握 事物的规律性，人们必须测试许多的参数，用以检验是否符合预期要求和事物的客观规律 性[1] 。 在被测物理量中，非电量占了绝大部分，例如压力、温度、湿度、流量、液位、力、 应变、位移、速度、加速度、振幅等等。非电量测量可以通过各种对应的敏感元件，将被 测物理量转换成与之有对应关系的电压、电流等，而后再通过对电压、电流的测量，得到 [2] 被测物理量的大小。传感技术的发展为这类测量提供了新的方法和途径 。 电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的一种装置，实质上就是一个具有 可变参数的电容器。 和其它传感器相比，电容式传感器具有温度稳定性好、结构简单、适应性强、