原创力文档- 12
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- 2021-09-02 发布于天津
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样品封管装置操作步骤开机步骤打开玻璃加工室的抽气开关打开机械泵开关绿色同时打开真空计开关转换开关在位置上按键真空度达到后转换开关放在位置上同时按真空计键真空度达到后打开扩散泵加热开关绿色三十分钟后扩散泵完全加热扩散泵开关放在位置上同时按键或键真空度达到时扩散泵开关放在位置上打开高纯压气瓶总开关打开副开关打开充气开关将气压表充至后关闭充气开关键转换开关放在位置上真空度达到按后转换到位置上再把扩散泵开关放在位置上真空度达到后重复步骤三次即可达到冲洗样品的目的最后把样品气压表充至后关闭充气开关切断封样
样品封管装置操作步骤
开机步骤：
1. 打开玻璃加工室的抽气开关。
2. 打开机械泵开关 VOORPOMP （绿色），同时打开真空计开关（转换开关
在“ backing”位置上），按“ T 1”键；
-3
3. 真空度达到 10 mbar 后，转换开关放在“ roughing”位置上，同时按真
空计“ T 2 ”键；
-3
4. 真空度达到 10 mbar
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