刻蚀培训讲义.pptxVIP

刻 蚀 培 训;生产线工艺流程;刻蚀的种类;4;5;6;7;8;9;10;什么是湿法刻蚀;HF/HNO3体系腐蚀机理;HF/HNO3体系腐蚀机理;HF/HNO3体系腐蚀机理;HF/HNO3体系腐蚀机理特点;HF/HNO3体系两区域腐蚀机理特点;HF/HNO3体系腐蚀液的选择;湿法刻蚀特点; 用无掩膜的背腐蚀来代替等离子刻蚀分离p—n结，背腐蚀使用HF-HNO3。溶液以及一些添加剂，避免了使用有毒性的CF4 气体，背腐蚀太阳电池的背面更平整，其背面反射率优于刻边，背腐蚀太阳电池能更有效地利用长波增加ISC。铝背场比刻边的更均匀，可以提高IQE，从而提高了???阳电池的VOC。;Rena结构 Rena生产原理 Inoxside界面操作 与等离子刻蚀比较 ;Rena水平刻蚀清洗机1;Rena各部件功能介绍-1;Rena水平刻蚀清洗机2;Rena各部件功能介绍-2;Rena水平刻蚀清洗机各槽分布图;Rena各槽功能介绍;Rena各槽功能介绍;一、刻蚀槽;刻蚀槽溶液流向图;刻蚀槽液面;刻蚀槽硅片流入吸附刻蚀液原理;刻蚀槽硅片流入吸附刻蚀液原理;刻蚀槽前后硅片状态比较;Rinse 1;Alkaline rinse;碱槽溶液流向图（槽截面）;Rinse 2;HF bath;氢氟酸槽溶液流向图（槽截面）;Rinse 3;Dryer 2;湿法刻蚀相对等离子刻蚀的优点;1、硅