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一，48所扩散炉正常关机流程：
确认工艺结束，分步降温，先降温600度，然后400度再200度，再关闭加热键。
待降温完成后，关闭监控软件和电脑。
关闭面板上的上电按钮和每台电控柜中的3个但P空开。
关闭恒温槽，拆下源瓶。
关闭总电源开关。
关闭冷却水，气体阀门，并注意查看是否有冷凝水，或酸排倒灌现象。
关闭各气体手阀，如果需要开保护氮气的话，氮气就不用关。
二，48所扩散炉紧急停电注意事项：
关闭上电按钮，和电柜中3个单P空开。
关闭恒温箱以及源瓶手阀，必要时生产拆线源瓶。
关闭总电源开关。
迅速打开设备的所有盖板，让机器紧急散热。
注意查看冷却水是否正常
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