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第五章 电容式传感器 绪论 5. 1 电容式传感器的工作原理及形式 5.2 电容式传感器的等效电路及特性 5.3 电容式传感器的信号变换电路 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高 精度的措施 绪 论1 电容器是电子技术的三大无源元件之一，利用电容器的原理，将非电量转化为电容量，进而实现非电量到电量的转化，在1920~1925年就有人利用电容传感器成功地测量了压力、位移、重量、温度，但实验室的结果应用到工业上有许多具体困难，因此，电容式传感器在几十年内相对于电阻式发展缓慢，但随着新材料、新工艺、新电路的开发，其中一些缺点逐渐得到克服，应用也越来越广泛，目前，电容传感器已在位移、厚度、物位、温度、振动、转速、流量及成份分析中得到广泛应用。 基本原理: 绪 论2 优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。 电容传感器 转换电路 被 测 量 电容值变化 电 信 号 非电量 C 电量 5.1 电容式传感器的 工作原理及形式 5.1.1工作原理 5.1.2 变极距型电容式传感器 5.1.3 变极板面积型电容传感器 5.1.4 变介电常数型电容传感器 5.1电容式传感器的工作原理及形式1 5.1.1工作原理 1.平行板电容器 + - d A 平行板电容器 电力线 当平行板的间距d 远小于平行板的尺寸（半径、长和宽等）时，对精度要求不是特别严格的条件下，边缘效应即可忽略。 忽略了边缘效应 R r L 同心圆筒形电容器 2.同心圆筒形电容器 忽略了边缘效应: L (R – r ) 在上述两种电容器中，决定其容量大小的诸多参数之一在待测对象的作用发生变化，其电容量将随之改变，这就是电容式传感器的物理基础。对于平行板电容器可以变化的参数有：ε、A、d等；对于同心圆筒形电容器可以变化的参数有：ε、L、r/R等。 三种基本类型： 变极距(变间隙)(d)型 变面积型(A)型 变介电常数(ε)型 5.1电容式传感器的工作原理及形式2 当极距 d0→ d1 = d0-Δd 时，则电容量C0 →C1。 然而，d0受介质的绝缘强度限制（空气:约 3KV/mm），不可太小。通常，d 在25～200μm之间， Δd /d0 0.1（非线性误差不可太大）。利用Δd → ΔC的特性，可以测量微小位移或厚度。 5.1电容式传感器的工作原理及形式3 5.1.2 变极距型电容式传感器 （平行板电容器式） + + + d A ? 5.1电容式传感器的工作原理及形式4举例: + + + + + + 5.1电容式传感器的工作原理及形式5举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式6 5.1.3 变极板面积型电容传感器 电容： 相对变化： 灵敏度： 角位移传感器 模型：两半圆形板极(定板极和动板极)的间距为d , 面积均为A ，可绕同圆心转动，其夹角为θ。 C1（ΔC）与θ（角位移）成线性关系。 动极板 平板电容式角位移传感器 定极板 5.1电容式传感器的工作原理及形式6举例: D0 D1 L a 圆柱形电容式线位移传感器 同心圆筒形线位移电容式传感器 模型：如右图。初始电容C0： 当内筒上移为a 时，内外筒间的电容C1为： 定极板 5.1电容式传感器的工作原理及形式7举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式85.1.4 变介电常数型电容传感器 变介质片电容器传感器 模型：如右图，这种电容可以看成是CA、CB两个电容的并联。设板极宽度为b 则： C与a 成线性关系 5.1电容式传感器的工作原理及形式9举例: 若忽略边缘效应，圆筒式液位传感器如下图，传感器的电容量与被液位的关系为 液位传感器 h C1 C C2 可见，传感器电