声表面波传感技术概述.ppt

第8章 声表面波传感技术;8.1 概述; （1）具有较低的传播速度和较短的波长； （2）沿固体表面传播的，且传播速度较慢； （3）晶体表面传播的弹性波，不涉及晶体内部电子的迁移过程； （4）采用单晶材料和用平面工艺制造，故重复性和一致性好，易于大批量生产。;滤波器、延迟线、振荡器、混频器、放大器、卷积器、相关器、编码器、声光调制器、声光偏转器、声光开关、超声马达、射频标签和传感器等。特别是其作为一种快速、超小型的频率控制、选择和信号处理器件，对电子和通信系统的发展起着极为重要的作用。目前，SAW器件正在朝着GHz频段到10GHz频段的超高频化发展。可以预测它将在信号检测、信号处理中发挥越来越重要的作用。; 用SAW器件研制、开发新型传感器始于20世纪80年代，起初，人们发现外界因素(如温度、压力、磁场、电场、某种气体等)对声表面波传播特性会造成影响，进而研究这些影响与外界因素的关系。根据这些函数关系．设计了各种所需结构．用于测量各种化学的、物理的、生物的被测参数。;;8.2 声表面波技术的基础知识;SAW;SAW的激发;Concept: IDT;声波可以用质点离开平衡位置的位移来表示，对于压电体，声波的传播还伴随着电场和电势，因此描述声波的变量还要有电势，一共四个量。;2. 声表面波的类型;3. 瑞利波特点; 目前SAW技术的应用已涉及地震学、天文学、雷达通讯及广播电视中的信号处理、航空航天、石油勘探、无损检测、识别定位和传感器等许多学科领域。随着电子学、声学、微平面工艺的飞速发展，SAW技术的发展也越来越迅速，目前已成为电子、超声领域最为活跃的学科分支之一。 ;5. SAW器件材料;目前使用的SAW基片材料主要有： 压电单晶：石英（SiO2）、铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂（LiTaO3）、铌酸钾（KNbO3）等，重复性好、可靠性高、传播损耗小 ，一般它们是各向异性材料 ，难以同时满足机电耦合系数高，而温度系数又要小的要求； 压电陶瓷：机电耦合系数最大 ，一致性差 ，工作频率受到多晶晶粒大小和晶粒间界状况、内部气孔大小的限制，一般只适宜作低频器件。 压电薄膜：如ZnO ，表面波传播特性由压电薄膜和衬底的特性共同决定，它可以很方便的与半导体电子器件集成为单片器件，使声表面波信号处理器件或传感器与外围电路集成化 ;Materials;8.3 SAW问题的基础理论 ;3. 压电介质中的Christofel方程 ;4. 声表面波特性的理论分析 ;8.4 声表面波传感器技术;结构型式; SAW振荡器通常有延迟型（SAWD）和谐振型（SAWR）两种结构 . SAWD由两个叉指换能器（IDT）的中心距决定相位反馈，由IDT的选频作用和反馈放大器产生固定频率的振荡。其振荡频率为： ;（a）单端对谐振器; 任何量只要能引起 、 或 发生变化，就会使SAW振荡器的振荡频率发生变化。通过振荡电路检测出振荡频率的变化就可以建立起频率偏移与待测量之间的关系。;无源遥测是SAW传感器的一大优势，从结构上看，无线SAW传感器也可分为延迟型和谐振型两种，但工作原理不同于一般的SAW传感器，以延迟型为; 脉冲信号从发射到接收的返回时间主要由读写器与IDT天线的距离、IDT与反射栅之间的距离以及声表面波波速来决定，即脉冲信号从读写器发射到回收的传播时间为：; 如果相应位置上的反射栅被布置或抽取，则该位置上的脉冲可表示编码“1”或“0”，相同结构的器件就变成了用于目标辨识的SAW标签（ID-Tag）。虽然目前SAW辨识标签没有随时改写的功能，但与其它类型的辨识标签相比，具有误码率低、读取时间快、作用距离远、不受光遮盖和读取方向影响、可在金属液体表面读取等优点，因而SAW标签是对IC射频标签的一个有力补充。;SAW传感器信号检测;SAW传感器信号检测;SAW传感器信号检测;一 选择零温度系数切型 二 差动法 三 数字补偿法 四 浮动零点法;１）高精度，高灵敏度； ２）准数字输出 ； ３）微型化，低功耗； ４）便于实现无线、无源化 ； ５）多参数敏感性，抗干扰能力强； 6） 结构工艺性好，便于大批量生产; 到日前为止，已经研制出的SAW传感 器，归纳起来可分为三大类： 1 物理量传感器： 力(压力、应力)传感器、扭矩传感器、加速度传感器、 角速度传感器（陀螺）、温度传感器、位移传感器、倾斜度传感器、磁场传感器、电压传感器、流量传感器、水声传感器等 2 化学量传感器： 气体传感器、露点传感器、湿度传感器、微质量传感器(微量天平)等； 3 生物传感器： 酶传感器、免疫传感器、液体识别传感器、离子识别传