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显微分析技术电子显微镜 基本原理及功能 原子力电子显微镜是在扫描隧道电子显微镜制造技术的基础上发展起来的。它是利用移动探针与原子间产生的相互作用力，将其在三维空间的分布状态转换成图像信息，从而得到物质表面原子及它们的排列状态 。 通常，把以扫描隧道和原子力电子显微镜为基础，兼带上述其他功能显微镜的仪器统称为原子力电子显微镜。 ◆ ◆ 扫描隧道和原子力电子显微镜 一般扫描电子显微镜放大倍数为几十万倍．透射电子显微镜的放大倍数可达百万倍以上 扫描隧道电子显微镜的放大倍数通常可达几千万倍 ?? 用STM测量高定向热解石墨 应用举例 其它显微镜 LFM 激光力显微镜 MFM 磁力显微镜 BEEM 弹道电子发 射显微镜 可用于观察样品表面的起伏状态。由于其探针离表面较远，而且观察表面起伏的最小尺寸度约5nm，因此也可用来测量表面窄缝的内部特征。 分辨率优于25nm，主要用于观察磁场边界、磁场强度等，如可用于观察磁盘存贮的数据等 是由STM派生出来，用于研究薄居下界面性质并具有纳米空间分辨率的一种显微镜。通过BEEM图．可以观察到界面结构以及由于界面结构的缺陷和界面双方元素的互扩散或化学作用形成的电子态不均匀性状态。 各种电镜的比较 　　 分辨 工作环境 对试样影响 检测深度 评价 TEM SEM