扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验0001.docxVIP

实验十一扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验 一、 实验目的： 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。 二、 实验仪器 压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、±15V。 三、 实验原理 在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，摩托罗拉公司设计岀X形硅压 力传感器如下图所示：在单晶硅膜片表而形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯 通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压 力传感器。 扩散硅压力传感器的工作原理：在X形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电 流j,当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时，在垂直 电流方向将会产生电场变化E = 该电场的变化引起电位变化，则在端可得到被与电 流垂直方向的两测压力引起的输出电压Uo。 U o = d ? E = d ? ^pi (11-1) 式中d为元件两端距离。 实验接线图如图11-2所示，MPX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V 电源、4脚为Uo-;当P1P2时，输出为正；PKP2时，输岀为负。 + Uo 厂 —电視—1 jUs 图11-1扩散硅压力传感器原理图 四、实验内容与步骤 接入+5V、±15V直流稳压电源，模块输出端Vo2接控制台上数显直流电压表，选 择20V档，打开实验台总电源。 调节Rw