薄膜物理与制备技术 教学大纲.docxVIP

PAGE 1 薄膜物理与制备技术 一、课程说明 课程编号： 080906Z10 课程名称（中/英文）：薄膜物理与制备技术 Thin Film Physics and Preparation Techniques 课程类别：专业教育课程 学时/学分：32/2.0 先修课程：大学物理、半导体器件物理 适用专业： 微电子科学与工程 教材、教学参考书： [1] 半导体薄膜技术与物理（第二版）. 叶志镇，吕建国，吕斌，张银珠. 浙江大学出版社，2014 [2] 薄膜生长（第二版）. 吴自勤，王兵，孙霞. 科学出版社，2013 [3] Material Science of Thin Films: Deposition and Structure (Second Edition). Milton Ohring. Academic Press, 2002 二、课程设置的目的意义 薄膜的研究和开发对集成电路生产的贡献日益增大，为微电子学、光电子学、磁电子学等新兴交叉学科的发展提供了材料基础，高质量的薄膜的生长工艺、有关薄膜的组成、晶体结构和物理性能成为这些新学科的重要组成部分，薄膜科学研究成果转化为生产力的速度愈来愈快，因而薄膜科学和技术愈来愈受到重视。本课程为微电子科学与工程专业选修课，旨在为本专业学生的提供直接的材料和物理学知识，提高学生对高精度微纳制造领域的理论造诣，为从本专业其他